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特點輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發(fā)科油擴散噴射真空泵 PBL系列維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發(fā)科油擴散真空泵PFL系列PFL-22維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)

采用數(shù)碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過數(shù)碼5軸控制磁懸軸承的采用，實現(xiàn)高功能·高可靠性·節(jié)約能源對應等優(yōu)勢。愛發(fā)科數(shù)碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修