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油擴散泵
ULK 系列

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養?

特點

• 設計為高臨界背壓。
• 單臺可以抽到?10^-2 Pa (10^-4 torr)，性能非常穩定。
• 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
• 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)
• 具備輔助泵側的油液反流防止機構日本愛發科油擴散真空泵  ULK 系列維修保養?
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