日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [6型]
CRYO-U6H
特點(diǎn)
- 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。
- 高排氣速度對(duì)于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻(xiàn)。
- 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
- 1臺(tái)壓縮機(jī)可以支持4臺(tái)低溫泵同時(shí)運(yùn)作。
- 可以按照用途的不同進(jìn)行設(shè)計(jì)、制作。
- 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排気速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 450 |
| 氫氣 | 500 | ||
| 氬氣 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa | 10-7 | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | 氬氣 | Pa?L | 1.0×107 |
| 氫氣 | 1.5×105 | ||
| 冷卻降下時(shí)間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 質(zhì)量 | Kg | 14.5 | |
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本愛發(fā)科真空泵維修保養(yǎng)、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)
昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
電話：86-0512-36687634
傳真：86-0512-36687634
地址：江蘇省昆山市陸家鎮(zhèn)友誼路290號(hào)
郵編：215000
昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司版權(quán)所有© 2018
